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Plano Cu & Si Mirrors

铜和硅平面反射镜

Water Cooled Cu Mirrors

水冷铜反射镜

Spherical Mirrors

球面反射镜

光束输送光学
激光工作机器的光束输送部分将激光光束从激光器腔体输送到工作头。 原则上,对一个二维机器而言,两个可移动镜面已足够将激光光束导向工件的任何点。 但是,在现代二维机器中,特别是三维机器中,光束输送部分还有另外的功能,这需要具有特殊性能的额外镜面。
铜和硅平面反射镜
为优化这些镜面的功能,需要使用不同的基片材料,最常用的是硅(Si)和铜(Cu)。 硅镜重量轻,在需要高加速度的飞行光学中为优先选择。 铜的热传导性高,并且可以在镜中直接置入冷却水通道。 因此,在对冷却有极高要求时(如激光功率极高的机器),铜镜为优先选择。 - 镜面的光学特性(反射率、相移位等)由其涂层所决定。 所以,为实现不同的镜面功能,需要使用不同的涂层。
水冷铜反射镜
由于这些年激光输出功率不断增大,反射镜的技术要求和损伤阈值面临更大的挑战。 作为解决方案,光学制造商们给铜镜增加了冷却系统,从而减小发射镜的热膨胀倾向,并确保光学表面的适当冷却。 通过接近表面的钻孔通道实现光学表面冷却,由于接触到的热量减少,涂层更少受到损害。 由于材料脆性,这种钻孔法不适用于硅反射镜。
球面反射镜
在许多应用中,激光器腔体产生的小直径激光光束并不便利,因为光束的发散度和功率密度都比较高。 为避免后续问题,可以使用望远镜增大光束直径,望远镜由一个凸面镜和一个凹面镜组成。 此类望远镜的镜子通常为铜制。
类型 基片 %R@45o@10.6 %S-Pol@45o@10.6 %P-Pol@45o@10.6 %R@45o@0.6328 PS@45oAOI
ZPS-HR Si & Cu 99.70% 99.80% 99.60% 630-670nm≥80% 0°±2°
ZPS Si & Cu 99.50% - - 900-1000nm≥55% 0°±2°
90PS Si & Cu 98% - - 630-660nm≥80% 90°±2°
90PS-HR Si & Cu 99% - - ≥80% 90°±2°
ATFR-HR Si & Cu - 99% ≤1% - 0°±2°